電子潔凈室的設(shè)計(jì)特點(diǎn)有如下:
1、平面由工藝決定,電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
2、主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。
3、大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。
4、應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求,設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
5、電子工業(yè)潔凈室按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。
6、特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M,儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M。
7、電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
8、電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì),當(dāng)工作人員超過5人時(shí),應(yīng)設(shè)旁門,當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過時(shí)間,也可設(shè)遂道式吹淋室。
9、對(duì)于高級(jí)別潔凈室,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
10、電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。
11、電子工業(yè)潔凈室友有對(duì)防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應(yīng)避開振動(dòng)源。
12、電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外,對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。
電子潔凈室的環(huán)境參數(shù):
參數(shù) | 數(shù) 值 | 說 明 |
截面風(fēng)速/(M/S) | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 潔凈度1-3級(jí)(ISO)潔凈室 潔凈度4-5級(jí)(ISO)潔凈室 |
換氣次數(shù)/(次/H) | 50-60 15-25 10-15 | 潔凈度6級(jí)(ISO)潔凈室 潔凈度7級(jí)(ISO)潔凈室 潔凈度8-9級(jí)(ISO)潔凈室 |
靜壓差/Pa | >5 >10 | 不同等級(jí)潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室 之間潔凈室與室外之羊 |
溫度/℃ | 18-22 16-20 按具體工程項(xiàng)目要求24-26 26-28 按具體工程項(xiàng)目要求 | 工藝無要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 |
相對(duì)濕度/% 冬 夏 | 30-50 按具體工程項(xiàng)目要求 50-70 按具體工程項(xiàng)目要求 | 工藝無要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時(shí)的生產(chǎn)環(huán)境 |
新風(fēng)量/[M3/(人.H) | 40 | |
噪聲/DB(A) | <65 | 單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室 |
照度/lX | 300-500 200-300 | 非單向流潔凈室主要生產(chǎn)用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外) 其它用房 |
照度均勻度 | 0.7 | |
靜電表面電阻率 | 1*105—1*1010 | 一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)為1*105—1*107 |
靜電體積電阻率 | 1*104-1*109 | |
地面對(duì)地的漏泄電阻 | *105-1*108 | |
靜電壓 | <50(45%相對(duì)濕度) | 4級(jí)(ISO)以上潔凈室 |
振動(dòng)速度 振動(dòng)加速度 振幅 相對(duì)位移量 | 根據(jù)工藝或精密設(shè)備、儀器儀表特性確定或參照國標(biāo)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》 | |
電磁干擾 | 4級(jí)(ISO)以上潔凈室,當(dāng)潔凈室靠近高壓輸配電設(shè)施時(shí)尤為重要 |